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无锡维度申请晶圆盒内晶圆姿态检测专利提升检测精度与效率
日期:2025-06-01 04:14:11 

  金融界 2025 年 5 月 1 日消息,国家知识产权局信息显示,无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司申请一项名为“一种晶圆盒内晶圆姿态检测方法及装置”的专利,公开号 CN119890079A,申请日期为 2024 年 12 月。

  专九游娱乐k>九游娱乐利摘要显示,本发明涉及半导体制造的自动化检测和控制技术领域,尤其是一种晶圆盒内晶圆姿态检测方法及装置。本发明提出的一种晶圆盒内晶圆姿态方法,采用双光源打到晶圆两侧形成亮点,并通过分析亮点宽度、位置和左右区域亮点中心偏差的信息,计算晶圆盒内晶圆数目,实现晶圆位置的准确检测,并判断晶圆叠片或错位问题,实现了对不同位姿的晶圆盒内不同尺寸形状晶圆的数量和位置的准确检测,能够提升检测精度与效率,提升生产自动化水平,有效解决了半导体生产过程中晶圆易错放的难题,填补了晶圆盒内晶圆姿态检测的空白,具有极大的技术优势、市场前景和应用价值。

  天眼查资料显示,无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司,成立于2021年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司共对外投资了1家企业,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可4个。

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